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18
Jul
真空鍍膜機(jī)工作環(huán)境要求
發(fā)布時(shí)間:2022-07-18
真空鍍膜機(jī)工作環(huán)境要求
真空鍍膜機(jī)主要是指一種需要在高真空下進(jìn)行的鍍膜，包括真空離子蒸發(fā)、磁控濺射、分子束外延、PLD激光濺射沉積等多種。其主要思想分為蒸發(fā)和濺射。
真空鍍膜機(jī)工作環(huán)境要求：
真空鍍膜設(shè)備應(yīng)在真空條件下工作，因此設(shè)備應(yīng)滿足真空對(duì)環(huán)境的要求。真空對(duì)環(huán)境的要求一般包括真空設(shè)備對(duì)實(shí)驗(yàn)室（或車間）溫度、空氣和其他周圍環(huán)境中顆粒物的要求，以及對(duì)真空或真空中零件或表面的要求。
這兩個(gè)方面密切相關(guān)。周圍環(huán)境直接影響真空設(shè)備的正常使用；真空室或安裝在真空設(shè)備中的零件是否清潔直接影響設(shè)備的性能。如果空氣中含有大量水蒸氣和灰塵，則在不清潔真空室的情況下，使用油封機(jī)械泵泵送很難達(dá)到預(yù)期的真空度。眾所周知，油封機(jī)械泵不應(yīng)泵出含有對(duì)金屬有腐蝕性且對(duì)真空油有反應(yīng)的顆粒粉塵的氣體。水蒸氣是一種可冷凝的氣體。當(dāng)泵出大量可凝氣體時(shí)，對(duì)泵油的污染將更加嚴(yán)重。因此，泵的極限真空將降低，泵的泵送性能將受損。
工業(yè)環(huán)境中的粉塵以粉狀體、無(wú)標(biāo)題眼和粉塵為特征。粉末是處于粉末或固體顆粒聚集或分散狀態(tài)的物質(zhì)。所謂粉末是指微小固體顆粒的集合，顆粒是指可以逐個(gè)計(jì)數(shù)的微小物質(zhì)。煙霧是一種物質(zhì)系統(tǒng)，其中固體或液體的小顆粒以漂浮狀態(tài)存在于氣體中。處于顆粒狀狀態(tài)的物質(zhì)，無(wú)論是固體還是液體，統(tǒng)稱為塵埃粒子?？諝馇鍧嵍葮?biāo)準(zhǔn)由粉塵粒徑大小確定，從而定制潔凈室等級(jí)。它不僅適用于有清潔要求的工業(yè)部門，也適用于清潔環(huán)境的真空要求。
